压电式干涉物镜驱动台通过柔性铰链机构对压电陶瓷输出的位移进行直接或放大驱动,行程可从10微米至200微米。它具有位移大、纳米级控制精度、结构紧凑、体积小、频响高、便于物镜安装等特点。
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