P32 系列 Z 向 / 俯仰 / 偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z 轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度,响应时间可达毫秒量级。P32系列压电偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大 6mrad 偏转,Z 轴 37.5μm 的直线运动。
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