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运动自由度 θx θy 最大偏摆角度（0~100V） ±4mrad±20% 闭环方式 SGS 空载谐振频率 2000Hz±20% 谐振频率（带载 φ12×8 镜片） 1450Hz±20% 静电容量 3.6/ 轴 μF±20% 使用频率 / 行程 1000Hz/±0.4mrad、600Hz/±0.9mrad，±20%
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