P31 俯仰 / 偏转镜系统可提供光束偏转角度达 50mrad,这种偏转镜系统是基于成熟的平行运动学设计,两个运动轴为垂直共面轴且具有共同的固定点,具有高分辨率及高定位精度等特点。
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