N90 系列六自由度并联机构,是 θx, θy, θz, X, Y, Z 六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用的首选。
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