P51 系列是中心通孔三维 θxθy 及 Z 轴运动的压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm 中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
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