P78 压电扫描台对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。可选配桥式配置的闭环传感器,可消除温度漂移,保证了纳米范围的定位稳定性。同时,通过 FEA 优化了直线度与平面度,并为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。结构更紧凑、响应速度更快。
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