XP-63X 压电纳米定位台为压电陶瓷直驱 X 轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维 XY、三维 XYZ 纳米定位台。
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