P63 系列压电纳米定位台为小体积 1 至 3 维压电定位平台,内部采用直驱机构,它的重要的特点是超精密且体积非常小巧,XYZ 三维运动版本的尺寸仅为 30×30×42mm(X 向运动版本尺寸仅为 30×30×21mm),非常易于集成到任何扫描仪器中。
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