Metrics F54系列产品集成显微成像装置,可以自动测量微观区域的薄膜厚度分布,光斑尺寸可做到1um。 F54采用电动R- Theta平台自动移动到选定的测量点,并以每秒测绘两个点的速度快速完成海膜厚度的测绘,样品直 径最大可达450室米,「54内建数十种同心园,矩形或线性图案模式,也可自行建立无数量限制的测量点。
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