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在线厚度测量系统F30
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产品品牌：
全光科技
交货周期：
现货
产品简介：
F30系列在线厚度测量系統是临控薄膜沉积最强有力的工具,能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数(n和

k值)和半导体以及电介质层的均匀性。在分子束外延和金属有机化学气相沉积镀膜中,F30可以测量平滑和半透明

的,或轻度吸收的薄膜,这实际上已经包括了从氮化塚铝到镓铟磷砷的任何半导体材料
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