P72-压电物镜扫描器为小体积大行程压电物镜扫描器,内置高性能压电陶瓷,闭环精度高,响应速度快、满行程线性度达纳米量级,可进行激光聚焦,已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。
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