Design Features Optical metrology 3-axis ALS5000/ATS5000WB/ATS5000 1 m x 1 m XY, 300 mm Z travel High load: 80 kg <75 arc-sec total angular errors Passive air isolation 6 ft tall A3200 rack-mount console Accuracy: X = 140 µm, Y = 2 µm, Z = 2 µm
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