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光束诱导电流成像检测系统（Light-Beam Induced Current—LBIC— mapping system）是一种高分辨、非直接接触的图象分析手段，通过不同激光波长的在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、并联电阻、反射率等特性参数，并通过横向扫描（Mapping）形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是晶界和位错分布，为光电子器件及太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。本设备可以广泛应用到单晶硅、多晶硅、非晶硅、碲化镉、铜铟
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