PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量(例如印刷、半导体等等)和表面检测(半导体晶片检测…)。
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