OM-OH-2 在OM-OH-1基础上增加了小孔座的两维角度调节,实现五维调节耦合,物件可以分别安装在物镜座和小孔座上。 参数: X方向(物镜座和小孔座间距离调节) 调节范围 12mm,最小分辨率 0.001mm Y,Z方向(小孔座微调) 调节范围 ±1.5mm, 最小分辨率 0.001mm 两维角度(小孔座微调) 调节范围 ±2°, 最小分辨率 0.002°
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