1x12,288线阵相位型液晶调制器是光束偏转与印刷系统的理想器件。这一器件运用了基于CMOS技术的标准液晶技术。基于CMOS结构的阵列为实现最先进的高分辨率光刻技术提供了有效的工具,由于其像素更小,从而能够为光束偏转应用提供更大的偏转角度。
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