PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光显微镜,通过侦测半导体缺陷引起的微弱的光发射和热发射来准确定位半导体器件的失效位置。 设备既可以与通用型探针台组合使用,也可搭载滨松Tilt Stage配合Nano Lens进行动态失效分析。 PHEMOS-1000支持从Probe Card到12英寸大尺寸晶圆的多种任务和应用范围需求。
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