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P34θx θy 二维压电快反镜是以压电陶瓷作为驱动的倾斜镜，压电倾斜镜内部采用无回差柔性铰链并联结构，采用有限元分析柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点，压电偏转镜内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，确保偏转镜具有极佳的运动控制精度、分辨率和稳定性，可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成光学系统中
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