P11 是压电陶瓷驱动的压电纳米定位台,1-3维多种规格可选,压电纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,具有超高的导向精度,定位精度可达纳米级,分辨率达亚纳米,毫秒级定位稳定时间,产品体积小巧,结构紧凑,易于集成到其他设备中。
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