P33压电偏转镜为两轴θx、θy运动压电偏转镜,4个压电陶瓷结构设计而成,每轴采用两个压电陶瓷,以推拉模式形成偏转运动,采用桥式连接电路控制,四个执行机构以90°角平分放置,是成堆的差异控制分布形式。最大偏转角度13.5mrad, 分辨率可达0.02urad。
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