二维压电高速扫描平台DMXY.25/23/29,提供XY双轴运动,标准行程25 μm(可选23/29 μm),开环分辨率低至0.1 nm,空载谐振频率高达3000 Hz,响应时间仅0.17 ms,实现极速精准响应。推力40 N,刚度2.5 N/μm,结构紧凑(50×50×16.5 mm,重80 g)。可选闭环型号(尾号-SG),适配高速扫描与微定位场景。
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