法国Phasics 公司的产品基于其波前测量专利(专利号CN200780005898)技术,即4 波横向剪切干涉技术。(4-Wave LateralShearing Interferometry)。在增强型改进型哈特曼掩模的基础之上,这种独特技术将超高分辨率和超大动态范围完美结合在了一起。任何应用下,其都能实现全面、简便、快速的测量。
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