
该系统有不同的配置方式,从低成本、手动加载台式系统到BOLTS集成计量模块以及完全自动化的独立输送盒至输送盒系统。F80-c就是化学机械抛光(CMP)、化学气相沉积(CVD)、物理机械抛光(PVD)和晶圆涂胶工艺工程师们梦寐以求的工具。
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