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DWL66+ 多功能激光直写光刻机
分辨率：0.2/0.6/0.8/1/2/4μm   光源波长：375nm/405nm   CD均匀性：60/70/80/130/250/400nm   曝光面积：150×150mm   
指导价 ￥100000
产品品牌：
德国海德堡
交货周期：
现货
产品简介：
DWL 66+ 兼具超强多功能性、专业级灰度光刻能力，拥有市场直写激光系统中最高分辨率，专为MEMS、微电子、微流体、光学、光子学、量子设备等领域研发与快速原型设计打造，适配各类微结构制备需求。
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上海市闵行区都会路2338号总部一号122号楼4楼
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