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μMLA 桌面式无掩膜光刻机
分辨率：0.6、1、3μm   光源波长：LED 390nm/365nm Laser 405nm/375nm   CD均匀性：200/300/400nm   曝光面积：150×150mm   
指导价 ￥100000
产品品牌：
德国海德堡
交货周期：
现货
产品简介：
µMLA 依托全球主流的µPG平台开发，是一款定位研发与快速原型的高端台式无掩模光刻系统，具备无需掩模、高精度、易用稳定等特点，是科研与小批量原型加工的标准入门级装备。
产品型号：
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上海市闵行区都会路2338号总部一号122号楼4楼
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