激光诱导辅助湿法刻蚀系统结合了激光与湿法刻蚀技术。先以高能量激光作用于材料,让材料特定区域发生物理化学变化,再放入蚀刻液,因改性区域蚀刻速度快,就能精准刻出所需微纳结构。它精度高、适用材料多、加工灵活、表面质量好,在微光学、半导体、生物医学、微机电等领域都有广泛应用 。
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