双频干涉光栅测量系统是基于多普勒原理,采用双频外差干涉技术,利用光栅的衍射光进行干涉,通过 外差信号解调器从双频干涉信号中提取出位移信息。该系列产品与双频激光干涉仪相比,具有固定的短光程(毫 米级),并且参考光和测量光的光程严格对称,因此抗环境干扰能力更好,更容易获得纳米甚至亚纳米级的 重复测量精度。 ★支持一维、二维、三维测量 ★参考光和测量光等光程,抗环境干扰能力更强 ★采用双频干涉技术,噪声
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