激光信号处理卡从干涉信号中解调出相位信息通过高速数据端口输出位移数据。激光信号处理器是针对测量和运动控制进行专门设计的,具有高分辨率、高速度、低噪声、数据延时短和实时闭环反馈等优点,并且可以支持多轴测量。
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