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双驱龙门
俯仰/偏摆:10 μrad   直线度/平面度:1/2 μm   准确度:±0.35 μm   双向重复精度:±0.2 μm   
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产品品牌:
精渊科技
交货周期:
现货
产品简介:
适用高精度定位和快速扫描的应用,机械或气浮导轨
行程可达500x1000mm
负载能力可达25kg
分辨率可达1nm
速度可达2m/s
XY正交性
5 μrad
双向重复精度±0.2 μm
准确度±0.35 μm
直线度/平面度1/2 μm
俯仰/偏摆10 μrad
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