适用高精度定位和快速扫描的应用,机械或气浮导轨 行程可达500x1000mm 负载能力可达25kg 分辨率可达1nm 速度可达2m/s XY正交性 5 μrad 双向重复精度±0.2 μm 准确度±0.35 μm 直线度/平面度1/2 μm 俯仰/偏摆10 μrad
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