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VXY一体式精密直线电机十字形XY平台
准确度：±0.2 um   行程：30/60/110/160 mm   直线度/平面度：±2 um   双向重复精度：±0.1-±0.2 um   
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产品品牌：
精渊科技
交货周期：
现货
产品简介：
直驱精密线性平台
结构紧凑,XY轴一体式设计高刚性防蠕变交叉滚柱导轨分辨率1nm,重复定位精度士100nm
最小步进5 nm
准确度±0.2 um
行程30/60/110/160 mm
直线度/平面度±2 um
双向重复精度±0.1-±0.2 um
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闵行区浦江镇江凯路177号1幢103-1室
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