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A801气浮直线位移台
最小步长：10nm   行程：50/100/200/350/500mm   负载：350N   双向重复精度：±0.1μm-±0.3μm   
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产品品牌：
精渊科技
交货周期：
现货
产品简介：
高性能纳米级定位台
高动态性能
可选项:零膨胀系数光栅尺
光栅尺分辨率可达1nm气隙均和效应,直线度平面度可达±0.25um/100mm
最小步长10nm,行程50/100/200/350/500mm,负载350N，双向重复精度±0.1μm-±0.3μm，准确度±0.2μm-±0.5μm,在位稳定性±10nm
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闵行区浦江镇江凯路177号1幢103-1室
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