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V305精密直线电机升降台
最小步长:0.005μm   行程:5/100mm   双向重复精度:15kg   准确度:±0.15μm   
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产品品牌:
精渊科技
交货周期:
现货
产品简介:
高精度志驱升降台,标配辅助承载气缸,实现大幅再快响应,定位精度优于±200nm,在位稳定性优于5nm(带被动隔振实验室环境),快速响应超薄尺寸,最小步长0.005μm,行程5/100mm,最大负载15kg,双向重复精度±0.15μm,准确度±0.2μm
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上海精渊科技有限公司
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