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MX 7012 晶圆高分辨率厚度和表面形貌测试仪
指导价 ￥700000~1300000
产品品牌：
Endress+Hauser
交货周期：
1个月
产品简介：
MX 70系列的测试系统用于监督生产过程中的蚀刻过程。它可以集成在蚀刻系统中，并由机器人或自动处理系统装载。
MX 70系列是一款非接触式测量系统，用于测量直径为300mm和450mm晶圆的厚度，TTV，翘曲度，粗糙度和波纹度。一对电容传感器测量穿过晶圆中心的对角线切割并得出厚度，波纹度和翘曲度。
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