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MX 608 晶圆厚度/非接触电阻率测量仪
指导价 ￥400000~600000
产品品牌：
Endress+Hauser
交货周期：
现货
产品简介：
适用于150mm 和200mm 晶圆硅片的组合式厚度和电阻率测量仪，可同时测量晶圆厚度和电阻率。
MX608 专为表征硅晶圆片而设计。它结合了非接触式厚度、电阻率和 P/N 点传感器。晶片的自动移入和旋转允许对每个晶片进行最多 18 次扫描。通过串行接口连接到 PC。配备我们强大的 MX-NT 操作软件。可集成到自动机器人分选机系统中。
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