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MX 604 单点晶圆厚度/电阻率测量仪
指导价 ￥300000~500000
产品品牌：
Endress+Hauser
交货周期：
现货
产品简介：
用于硅块的快速非接触式电阻率测量。
MX604 的测量原理为涡流法，可测量任何尺寸的硅块的电阻率。它最多允许连接4 个
不同的传感器探头来测量不同的电阻率范围。集成字母数字显示屏。可独立工作或通过串行接口连接到 PC。我们的可选软件 EHMaster 可进一步评估测量结果和工具配置，用于0.25 Ω cm - 25 Ω cm的晶圆电阻率和厚度测量。
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