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MX 2012晶圆几何测量仪
指导价 ￥700000~120000
产品品牌：
Endress+Hauser
交货周期：
现货
产品简介：
适用于 300mm及以上尺寸的晶圆的高精度几何测量仪。
MX2012 作为手动装载的独立站运行，每小时至少可处理 50 片晶圆。共具有 69 个测量点，以高分辨率控制厚度、弓形和翘曲。
可选择进行晶圆应力评估。直立位置测量可避免重力引起的下垂。系统可转换为 200mm 晶圆测量。配备MX-NT 操作软件。
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