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高精度的紧凑型光束定位系统，无需单独的控制盒。传感器探头内置有相应的电子原件。 测量光斑的位置和功率，可配备双轴横向效应检测器（分辨率低至 0.1um @ 50Hz 数字滤波器，±6um 绝对精度），或4象限检测器（精度低至光束直径的 ±0.025%）。
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