单个平移台具有经 4 或 5 轴微调对准的光学器件 在 θx 和 θy 内倾斜角度范围超过 8°,在 XY 中的线性行程为 3 mm 在线性平移中,每 5° 旋转可实现 4.4 µm 的精确对准 平台高度低
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