XM-ORC参考腔在具有主动温度稳定功能的高真空下工作,以减少腔长波动并提高锁模激光器的频率稳定性。为实现高真空度,额定泵速为10 L/s的离子吸气泵持续抽吸真空室,以维持< 10-7的气压。真空室还使用了CF法兰组件,通过刀口机制在匹配件之间形成气密密封。
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