TMC 用于OEM检测、光刻和计量工具的内部隔振器Stage-Base 450 TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的半导体工具而设计的主要消振系统。
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