TOOL-Base是一种先的主动压电地面减振平台,用于超精密仪器和机械设备。 它适用于比典型的商业扫描电子显微镜(SEM)更大或更重的仪器,而且设备有高度限制。 TOOL-Base不局限于单一的配置,而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外,它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。
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