气浮隔振平台由精密气浮隔振支架、阻尼隔振垫、空气压缩机、光学面板组成,整体高度800mm,由台面和支架组成。对于气浮隔振平台,除了具备刚性阻尼隔振平台特点之外,还有有优异的隔振性能,更加稳定的隔振效果,更加精准的高度控制。
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