各种因素造成的振动会导致仪器测量结果的不稳定性和不准确性,严重干扰生产和实验的进行,振动来源主要分为来自系统之外的振动和系统内部的振动,地面固有振动,工作人员踩踏地板以及开、关门或墙壁碰撞等通过地面传来的振动均属系统之外的振动,这一类振动需通过光学平台的隔振支架衰减;而来自系统内部的振动包括仪器振动、气流、冷却水流等,则需依靠光学平台的桌面阻尼来隔绝。
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