◆TDR系列探针台包括探针台面板,探针架,高精度探针定位器,恒温样品台,样品位移系统,显微成像系统等组成,模块化设计,后期方便升级满足不同应用要求 ◆最大可用于12寸以内样品测试 ◆探针台整体位移分辨率3μm,样品XYZR四维调节 ◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试 ◆探针采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计 ◆PID控温,可加热至300℃,控温精度±1℃,有效
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