基板形状:平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面 基板材料:石英、硅、zero dewer等 多层膜材料:Mo/Si(50eV至100eV)、Ru/Si(50eV至100eV)、Zr/Al(50eV至70eV)、SiC/Mg(25eV至50eV)、Cr/C(至300eV)等 基板尺寸:φ3毫米至φ300毫米(标准值为1英寸)
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