滨松的LDLS™ 宽光谱高亮度光源是一种激光驱动白光光源,综合了单点光源的多个优点: ▪ 宽光谱:170nm~2500nm ▪ 超高亮度/辉度 ▪ 超长寿命,超高稳定性 ▪ 符合全球晶圆代工厂的工业标准 ▪ 高可靠性保证365天不停歇的工作
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